¿Cuáles son los métodos de preparación de la cerámica denitruro de silicio?

Fecha de lanzamiento:2022-03-03

1. Se adopta el método de sinterización de reacción (RS)

El método de moldeo general. Primero, el polvo de silicona se presiona en un cuerpo verde de la forma deseada, y luego se coloca en un horno denitruración para el tratamiento de sinterización antes de-itruración (nitruración parcial). El cuerpo verde después de la pre-nitriding tiene una determinada fuerza y ​​puede llevar a cabo diversos procesos mecánicos (como girar, planificar, moler, perforar) y, finalmente, a la temperatura por encima del punto de fusión del silicio; El cuerpo verde se vuelve denuevo completamentenitrable y sinterizado para obtener un producto con poco cambio dimensional (es decir, después de que se sinterice el cuerpo verde, la contracción es muy pequeña, la tasa de contracción lineal es<011%) Este producto puede ser generalmente Utilizado sin molienda. El método de sinterización de reacción es adecuado para la fabricación de piezas con formas complejas y dimensiones precisas, y el costo también es bajo, pero el tiempo denitruración es muy largo.

氮化硅陶瓷结构件 2.jpg

--manufactura de productos con formas complejas sin maquinado costoso y precisión dimensional fácil; No esnecesario agregar ayudas de sinterización.--

2. El método de sinterización de prensado en caliente (HPS)

\"polvo SI3N4 y una pequeña cantidad de aditivos (como MGO, AL2O3, MGF2, FE2O3, etc.) se calientan y se sinterizan a una presión por encima de 1916MPA y una temperatura arriba 1600 ℃. Las cerámicas SI3N4 sinterizadas sinterizadas calientes utilizadas por algunas empresas en el Reino Unido y los Estados Unidos tienen una fortaleza de más de 981MPA, y los aditivos y la composición de fase durante la sinterización tienen un gran impacto en el rendimiento del producto. Debido al control estricto de la composición de la fase de límite de grano y el tratamiento de calor adecuado después de la sinterización de las cerámicas SI3N4, es posible obtener materiales cerámicos de la serie SI3N4 queno disminuyan significativamente la fuerza (hasta 490MPA o más) incluso cuando el La temperatura es tan alta como 1300 ° C, y la desnaturalización de resistencia de crianza puede mejorarse mediante tres órdenes de magnitud. Si el material cerámico SI3N4 está preoxidizado a una temperatura alta de 14001500 ℃, la fase SI2N2O se formará en la superficie del material cerámico, que puede mejorar significativamente la resistencia a la oxidación y la resistencia a la temperatura alta de la cerámica SI3N4. Las propiedades mecánicas de las cerámicas SI3N4 producidas por la sinterización de prensado en caliente son superiores a las de la sinterización de reacción SI3N4, con alta resistencia y alta densidad. Sin embargo, el costo de fabricación es alto y el equipo de sinterización es complejo. Debido a la gran contracción del cuerpo sinterizado, la precisión dimensional del producto se limita hasta cierto punto. Es difícil fabricar partes complejas. Solo se pueden fabricar partes con formas simples, y el mecanizado de la pieza también es difícil.

氮化硅陶瓷结构件 6.jpg

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--advantages:-productos con alta densidad y la fuerza puede obtenerse>

Disadvantages:.BAJO eficiencia de la producción, el alto costo, simple forma del producto, difícil mecanizado posterior

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3.. Sinterización de la presión atmosférica (PLS)

in Términos de aumentar la presión de la atmósfera denitrógeno de sinterización, la temperatura de descomposición de Si 3 N 4 se incrementa (generalmente en el ATMn2

1, comienza a descomponerse desde 1800) y después de la sinterización de la presiónnormal en el rango de temperatura de 1700-1800, la sinterización de presión de gas se realiza en el rango de temperatura de 1800

2000 ° C. El propósito de este método es utilizar la presión del aire para promover la densificación de la cerámica SI3N4, lo que aumenta la fuerza de la cerámica. Las propiedades del producto resultante son ligeramente más bajas que las de la sinterización caliente de

ombres, que tiene desventajas similares a la sinterización en caliente.

4. Método de sinterización de presión de gas (GPS)


\\ Nin Años recientes, las personas han realizado una gran cantidad de investigaciones sobre la sinterización de la presión de los gases, y han logrado un gran progreso. La sinterización de la presión de gas denitruro de silicio se lleva a cabo a una temperatura de aproximadamente 2000 ° C con una presión de 1 \\ N10 MPa, y la alta presión denitrógeno inhibe la descomposición de alta temperatura delnitruro de silicio. Debido al uso de la sinterización de alta temperatura, la adición de menos ayudas de sinterización es suficiente para promover el crecimiento de los granos de SI3N4, y se obtiene una alta \\ \\ Nsitu Cerámica que contiene un crecimiento de granos columnares largos con una densidad de \\n 99% . Por lo tanto, la sinterización de la presión del aire se ha prestado más y más atención tanto en el laboratorio como en la producción. La cerámica denitruro de silicio sinterizado de la presión de gas tiene una alta resistencia a la resistencia de la alta resistencia, y puede producir directamente varias formas complejas cercanas a la forma final, lo que puede reducir en gran medida los costos de producción y procesar los costos de procesamiento. Y su proceso de producción está cerca del proceso de producción de carburo cementado, que es adecuado para la producción en masa. \\ N \\n \\n \\n 5. Sinterización pesada (PS) \\n \\n \\n 'reacción SI3N4 Sintered Sintered Blank se coloca en polvo denitruro de silicio en presencia de una ayuda de sinterización, y RE \\ Nsinterada a alta temperatura para obtener un producto de SI3N4 denso. La ayuda de sinterización se puede introducir durante la molienda de bola de polvo de silicona, o puede agregarse por impregnación después de la sinterización de la reacción mediante impregnación. Debido a la prefabricación durante el proceso de sinterización de reacción, la contracción durante el proceso RE \\ Nsintering es de solo 6% a 10%, por lo que se puede preparar partes con formas complejas y un rendimiento excelente. \\ N \\n \\ N \\ N \\ N \\ N \\ N \\n \\n \\n \\n \\n \\n \\n \\n \\n \\n \\n \\n \\nup a 99% de densidad, comparable al Hot \\ N \\ N \\ N \\ N \\ N6. Al presionado isostático caliente (HIP) \\n \\n \\n \\n La mezcla de polvo denitruro de silicio y ayuda de sinterización está encapsulada en un sobre de metal o vidrio, y sinterizado a alta temperatura por gas de alta presión después de aspirar. La presión comúnmente utilizada es de 200MPA y la temperatura es de 2000. El presionado isostático caliente denitruro de silicio puede alcanzar la densidad teórica, pero su proceso es complicado y el costo es alto. \\ N \\n \\n \\n \\n \\n \\n \\n

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